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SMC電磁閥新產(chǎn)品特輯-平行密封型門閥XGTP系列

SMC最新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu)，可對(duì)應(yīng)300mm晶圓。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。

                                                                                     產(chǎn)品參數(shù)

◇ 長壽命：300萬次（常溫時(shí)）

???◇ 低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號(hào)相比）

???◇ 省氣：耗氣量減少22%

???◇ 輕量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

                                                                                                                   平行密封構(gòu)造

▼門上升、下降的直線動(dòng)作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構(gòu)造，降低了摩擦系數(shù)，可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。

                                                             應(yīng)用場(chǎng)合

上海律立貿(mào)易有限公司（598m.cn）主要銷售：SMC電磁閥,SMC氣缸, FESTO氣缸，F(xiàn)ESTO電磁閥，圖爾克TURCK傳感器，SICK,傳感器，邦納傳感器，歡迎您的來電！