圖爾克傳感器與其他傳感器工作介質(zhì)不同
圖爾克傳感器與其他傳感器工作介質(zhì)不同
圖爾克傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)通過半導(dǎo)體材料的基板上的擴(kuò)散電阻制造的器件?;蹇梢灾苯佑米鳒y(cè)量傳感器元件,并且擴(kuò)散電阻器以基板中的橋的形式連接。當(dāng)基板通過外力變形時(shí),電阻值將改變,
并且電橋?qū)a(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。
用作壓阻傳感器的基板(或隔膜)主要是硅和鍺。以硅片為敏感材料的硅壓阻傳感器受到越來越多的關(guān)注。特別是在固態(tài)壓阻式壓力和速度傳感器中,zui得到了廣泛的應(yīng)用。
熱電阻傳感器
熱電阻溫度測(cè)量是基于金屬導(dǎo)體電阻值隨溫度升高而增大的特性。傳感器
大多數(shù)熱阻由純金屬材料制成。目前,許多應(yīng)用由鉑和銅制成。此外,已經(jīng)使用諸如鎳,錳和鉭的材料制造了熱阻。
熱阻傳感器主要利用電阻隨溫度變化的特性來測(cè)量溫度和溫度相關(guān)參數(shù)。這種傳感器適用于溫度檢測(cè)精度高的場(chǎng)合。鉑、銅和鎳被廣泛用作熱電阻材料。它們具有電阻溫度系數(shù)高、線性好、性能穩(wěn)定、溫度范圍寬、易于加工等特點(diǎn)。
可用于-200~500℃范圍內(nèi)的溫度測(cè)量。
圖爾克傳感器有一個(gè)更突出的位置?,F(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)進(jìn)入了許多新的領(lǐng)域,如宏觀觀察宇宙數(shù)千光年,微觀觀察象調(diào)頻那樣小的粒子世界,幾十萬年來觀察天體的演化。T垂直水平,瞬時(shí)響應(yīng)短至S,同時(shí)出現(xiàn)了各種極端技術(shù),
如超高溫、超低溫、超高壓、超高真空、超強(qiáng)磁場(chǎng)、超弱磁場(chǎng)等,起到了重要作用。對(duì)深化物質(zhì)認(rèn)識(shí),開發(fā)新能源、新材料具有重要作用。顯然,如果沒有合適的傳感器,很難獲得人類感官無法直接獲得的大量信息。
基礎(chǔ)科學(xué)研究的許多障礙在于獲取目標(biāo)信息的困難。一些新機(jī)制和高靈敏度檢測(cè)傳感器的出現(xiàn),往往導(dǎo)致這一領(lǐng)域的突破。一些傳感器的發(fā)展往往是一些前沿學(xué)科發(fā)展的先驅(qū)。
圖爾克傳感器中的電阻應(yīng)變計(jì)具有金屬的應(yīng)變效應(yīng),即在外力作用下的機(jī)械變形,因此電阻值相應(yīng)地改變。有兩種類型的電阻應(yīng)變計(jì):金屬和半導(dǎo)體。金屬應(yīng)變計(jì)有金屬絲,箔和薄膜兩種。半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)具有高靈敏度(通常為絲和箔的數(shù)十倍)
和較小的橫向效應(yīng)的優(yōu)點(diǎn)。
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